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一种提高扫描隧道显微镜位移控制精度的驱动电路、扫描隧道显微镜及驱动方法技术
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文档序号:43429111
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本发明涉及电子科学技术领域,特别涉及一种提高扫描隧道显微镜位移控制精度的驱动电路,包括主控单元、驱动波形生成电路、驱动波形整形电路;主控单元与驱动波形生成电路相连,以输出驱动波形到压电陶瓷块;主控单元与驱动波形整形电路相连,以对输出到压电陶...
该专利属于嘉庚创新实验室所有,仅供学习研究参考,未经过嘉庚创新实验室授权不得商用。
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