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本发明提供一种用于超长碳纳米管生长的高效复合催化剂薄膜的制备方法，先将硅衬底清洗后，并吹干，放入反应磁控溅射装置的反应室中，沉积前反应室背底绝对压力低于５×１０－３Ｐａ；采用Ｆｅ和Ｍｇ靶材作为溅射靶，或采用Ｆｅ和Ａｌ靶材作为溅射靶，以Ａｒ气...
该专利属于苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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