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本发明涉及无缝精密管技术领域，尤其是提供了精密洁净管组件，包括管本体和锁件；所述锁件包括扣罩和连接在所述扣罩内面上的护罩，所述扣罩上开设有通孔，所述通孔内镶嵌有导向套，所述锁件还包括滑动装配在所述导套上的推杆，还包括固定在所述扣罩外面上的丝...
该专利属于芯莘半导体材料（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯莘半导体材料（江苏）有限公司授权不得商用。

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