下载测试结构、失效定位方法以及失效分析方法的技术资料

文档序号:43410273

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本发明提供一种测试结构、失效定位方法以及失效分析方法,测试结构包括:链式结构以及dummy金属线;链式结构包括第一金属层、第二金属层以及通孔,第一金属层位于第二金属层的上一层级,第一金属层通过通孔与第二金属层连接;第一金属层沿第一方向间隔排...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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