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本申请涉及用于制造传感电极的方法、传感电极、传感器。该方法包括:形成层叠于基底的第一电极,第一电极位于基底的第一侧;形成层叠于基底的第二电极,第二电极位于基底的第一侧且与第一电极同层;形成层叠于基底的第三电极,第三电极位于基底的与第一侧相对...该专利属于上海联影微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海联影微电子科技有限公司授权不得商用。
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