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一种面向桥梁微形变监测的基于微流道技术的平面电容型微位移传感器制造技术
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文档序号:43390964
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本发明公开了一种面向桥梁微形变监测的基于微流道技术的平面电容型微位移传感器,其中器件包括具有连通器结构的液压位移放大机构、多层微流道结构和平面电容。本发明通过液压放大机构将主流道的微位移信号转化为微流道中的液位变化后,利用平面电容检测原理实...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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