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本发明公开了一种氮化钽基异质结的制备方法，包括以下步骤：步骤S1：优化氮氧化钽与氮化钽的晶胞结构；步骤S2：进行静态自洽与非自洽计算，获得稳定模型的能量、能带结构数据；步骤S3：对氮氧化钽与氮化钽进行切面，切面的晶向为方向；步骤S4：将氮氧...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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