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本公开提供一种导热系数检测装置及检测系统,涉及玻璃基板生产技术领域,其中导热系数检测装置包括:炉体,炉体具有炉膛和与炉膛连通的检测区;以及,加热组件,加热组件设置于炉膛内;其中,加热组件接触连接于炉膛内的至少两个侧壁表面;检测区用于放置待检...该专利属于河北光兴半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北光兴半导体技术有限公司授权不得商用。
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本公开提供一种导热系数检测装置及检测系统,涉及玻璃基板生产技术领域,其中导热系数检测装置包括:炉体,炉体具有炉膛和与炉膛连通的检测区;以及,加热组件,加热组件设置于炉膛内;其中,加热组件接触连接于炉膛内的至少两个侧壁表面;检测区用于放置待检...