下载涡轮叶片表面薄膜热电偶多界面氧化铝绝缘层制备方法的技术资料

文档序号:43373536

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本发明提供涡轮叶片表面薄膜热电偶多界面氧化铝绝缘层制备方法,包括将所述涡轮叶片试验件置于真空环境中,并对所述试验件的叶背区域进行离子刻蚀;离子刻蚀后保持真空环境,并对所述叶背区域进行第一层的磁控溅射沉积;磁控溅射的靶材材质为氧化铝;溅射沉积...
该专利属于中国航发北京航空材料研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国航发北京航空材料研究院授权不得商用。

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