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集成式阻挡杂质带探测器及其制造方法技术
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文档序号:43367740
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本申请涉及集成式阻挡杂质带探测器及其制造方法。该集成式阻挡杂质带探测器包括:超透镜阵列,用于聚光;阻挡杂质带探测结构,设置于超透镜阵列的出光侧,阻挡杂质带探测结构包括透光衬底、第一电极层、吸收层、阻挡层、第二电极层、钝化层及第一接触电极,其...
该专利属于之江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室授权不得商用。
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