温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种多喷灯CVD合成大尺寸石英玻璃的方法，包括如下步骤：喷灯点火对炉膛进行预热升温；向每个喷灯通入氢气、氧气和四氯化硅，至炉膛内的温度和压力处于稳定状态；增大每个喷灯的氢气、氧气和四氯化硅的通入流量，驱动承载体旋转并提升至基准点...
该专利属于内蒙古亨芯石英有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古亨芯石英有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。