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本技术公开了一种用于真空镀膜冷却系统的加热装置，包括设备墙板、加热管束和安装组件，所述设备墙板上开设有安装孔，所述安装组件安装于设备墙板的一侧，所述加热管束安装于所述安装组件上并穿过所述安装孔延伸至设备墙板的另一侧。本技术通过在设备上开设安...
该专利属于深圳金美新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳金美新材料科技有限公司授权不得商用。

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