下载一种温度-压力-热流三参量的复合微纳传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:43356679

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本发明公开了一种温度‑压力‑热流三参量的复合微纳传感器及其制备方法,其中,复合微纳传感器包括敏感芯体和包裹在敏感芯体外的封装壳体,敏感芯体的主体光纤与法珀谐振腔串联,法珀谐振腔远离主体光纤的一端形成压力敏感膜片层,通过压力敏感膜片层和法珀谐...
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