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本发明公开了一种超导量子比特制备的工艺方法，包括：对衬底端面进行离子束清洗和加热退火处理；将退火完成的衬底通过沉积，在衬底端面的若干区域形成第一金属层；将第一金属层置于氧气环境中，形成第一氧化层；对衬底再次进行离子束清洗，制备第二金属层和外...
该专利属于量子科技长三角产业创新中心所有，仅供学习研究参考，未经过量子科技长三角产业创新中心授权不得商用。

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