下载含硫的硅氧烷、包含所述含硫的硅氧烷的含硅膜形成用的组合物、含硫的硅氧烷的制造方法、含硅膜以及含硅膜的制造方法的技术资料

文档序号:43351036

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本发明提供一种含硫的硅氧烷,其由下式(1)表示。[式(1)中,A1~10在各自出现时分别独立地为氢原子、有机基团、卤素、OSiRaRbRc所示的硅烷氧基或NRdRe所示的氨基,其中,A1与A3任选地一体为氧原子而形成环状硅氧烷,A4与A6任...
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