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本发明属于半导体技术领域，涉及一种使用中长波红外辐射测温系统的超低温快速热处理炉，包括：加热腔、真空工艺腔，加热腔与真空工艺腔为采用石英保护玻璃相互隔离；加热腔内设有卤素加热灯、温度控制系统；真空工艺腔内待测晶圆的前晶面正对石英保护玻璃位于...
该专利属于西安和其光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安和其光电科技股份有限公司授权不得商用。

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