下载基于非晶氧化铜/铂/氧化镓异质双肖特基结日盲紫外探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:43345687

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本发明公开了一种基于非晶氧化铜/铂/氧化镓异质双肖特基结日盲紫外探测器结构及其制备方法,自下而上依次为c面蓝宝石衬底、Ga<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;薄膜、Pt金属膜层、非晶Cu...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。

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