下载一种实时标定四象限探测器的方法的技术资料

文档序号:4333583

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本发明提供一种光学测量系统,包括四象限光电二极管探测器,以及被探测物体影像生成装置;还包括安装有玻璃载玻片并能带动所述玻璃载玻片做振动的步进马达;其中,所述的步进马达位于所述的四象限光电二极管探测器与所述的被探测物体影像生成装置间,并使得被...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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