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一种纳米线场效应晶体管制造技术
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下载一种纳米线场效应晶体管的技术资料
文档序号:4332937
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本发明公开一种纳米线场效应晶体管。该晶体管是由栅电极、源区、漏区、中心区和栅介质层组成;其中,中心区为芯-壳结构,该芯-壳结构同轴;栅介质层全包围中心区,栅电极全包围栅介质层;源区和漏区分别位于中心区的两侧。其中,中心区的芯结构为绝缘体材料...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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