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本申请涉及急停装置技术领域，公开了一种硅片上下料设备的急停装置，急停装置用于控制料台急停，包括；急停装置本体，急停装置本体装设于料台上；控制组件，控制组件包括装设于靠近急停装置本体位置的导向部、滑设于导向部上的按压部和装设于靠近按压部位置的...
该专利属于无锡釜川科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡釜川科技股份有限公司授权不得商用。

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