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一种以碳纳米管为电极的场效应晶体管器件及其制备方法技术
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下载一种以碳纳米管为电极的场效应晶体管器件及其制备方法的技术资料
文档序号:4332409
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本发明提供一种以碳纳米管为电极的场效应晶体管器件及其制备方法。该器件中,构成源区和漏区的材料均为至少一根单壁碳纳米管,构成沟道区的材料为各种有机半导体分子。本发明提供的制备方法,通过将自上而下的器件制造工艺和自下而上的分子自组装方法相融合的...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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