下载一种高纯二氧化硅气相合成工艺的技术资料

文档序号:43318522

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本发明公开了一种高纯二氧化硅气相合成工艺,包括如下步骤A1、制备氟硅酸;A2、反应釜反应生成四氟化硅;A3、四氟化硅水解;A4、含硅酸循环液压滤处理;A5、二次洗涤压滤处理;A6、干燥、煅烧。利用氢氟酸与石英砂生成氟硅酸,氟硅酸与硫酸加热反...
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