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本发明属于材料器件设计及应用领域，涉及一种在太赫兹波频段提高纳米材料光学特性表征精度的检测方法。首先根据测试所用太赫兹光谱系统参数，确定具备最佳信噪比的太赫兹频段，通过全介质波导理论设计出满足应用条件的光栅波导装置结构，采用微纳光刻技术在硅...
该专利属于青岛大学所有，仅供学习研究参考，未经过青岛大学授权不得商用。

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