下载带电粒子束偏转装置的技术资料

文档序号:43308523

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该带电粒子束偏转装置具备:层叠构造体,具有供带电粒子束穿过该层叠构造体的内部的中空形状,并且该层叠构造体具有在从内部朝向外部的方向上层叠的多个层;第一线圈,使带电粒子束向与带电粒子束的行进方向不同的第一方向偏转;第二线圈,使带电粒子束向与第...
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