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一种挠曲电式高精度作动器制造技术
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下载一种挠曲电式高精度作动器的技术资料
文档序号:43307583
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本发明公开了一种挠曲电式高精度作动器,属于材料科学中的力电耦合技术领域。包括电介质元件和作动器,作动器包括上T形台和下T形台,上T形台的上竖臂和下T形台的下竖臂连接,T形台的上悬臂下表面均涂覆有第一电极层,下T形台的下悬臂上表面均涂覆有第二...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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