下载一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉的技术资料

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本实用新型公开了一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉,它包括钟罩式炉筒、底盘、原料气进口及管道、尾气出口及管道、硅芯底座及硅芯;炉筒固定在底盘上并密封,底盘上连接原料气进口及管道和尾气出口及管道并设有硅芯底座,硅芯固定在硅芯底座上,底座以...
该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏中能硅业科技发展有限公司授权不得商用。

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