温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉,它包括钟罩式炉筒、底盘、原料气进口及管道、尾气出口及管道、硅芯底座及硅芯;炉筒固定在底盘上并密封,底盘上连接原料气进口及管道和尾气出口及管道并设有硅芯底座,硅芯固定在硅芯底座上,底座以...该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏中能硅业科技发展有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉,它包括钟罩式炉筒、底盘、原料气进口及管道、尾气出口及管道、硅芯底座及硅芯;炉筒固定在底盘上并密封,底盘上连接原料气进口及管道和尾气出口及管道并设有硅芯底座,硅芯固定在硅芯底座上,底座以...