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本发明公开了一种高性能亚毫米波产生传输片上系统集成芯片及制备方法，所述片上系统集成芯片包括集成在衬底上的激光器、无源波导、单向载流子探测器和波拓扑光子晶体亚毫米波波导；拓扑光子晶体亚毫米波波导由两个其上设有周期性排布圆形气孔阵列的光子晶体平...
该专利属于之江实验室所有，仅供学习研究参考，未经过之江实验室授权不得商用。

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