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一种镀膜机抽真空系统技术方案
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下载一种镀膜机抽真空系统的技术资料
文档序号:43297611
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本技术提供一种镀膜机抽真空系统,包括镀膜机,镀膜机中设置有机器泵、罗茨泵和扩散泵,机器泵的进气口设置在镀膜机的外表面,罗茨泵连接在机器泵上,扩散泵连接在罗茨泵上,机器泵的进气口上设置有进气管道,进气管道的一端连接有过滤器,过滤器上设置有电磁...
该专利属于江苏微凯机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏微凯机械有限公司授权不得商用。
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