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本发明提出一种纳米压痕测试的超低温控制装置及方法，超低温控制装置，包括气源、液氮容器、冷却铜管、超低温控温台和控制器，所述超低温控温台包括样品台、集成加热器、温度传感器，所述样品台内置有气体导流通道，所述气源与冷却铜管、所述冷却铜管与气体导...
该专利属于崂山国家实验室所有，仅供学习研究参考，未经过崂山国家实验室授权不得商用。

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