温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种研磨液臂装置与晶圆研磨方法，研磨液臂装置包括臂本体、三叉通道结构、控制件和夹板，臂本体的内部设有研磨液管；三叉通道结构包括共用通道、第一出液通道和第二出液通道；控制件用于控制研磨液流入第一出液通道或第二出液通道；夹板位于第二出...
该专利属于重庆芯联微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆芯联微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。