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本技术公开了一种用于对硅片花篮的新型检测工具，包括底座、定位机构和检测机构；所述检测机构包括支座、若干组检测组件和检测驱动机构；所述检测组件包括设置在支座上的若干组检测片，若干组检测片沿着支座的运动方向排列设置，每组检测片为多个，多个检测片...
该专利属于深圳市石金科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市石金科技股份有限公司授权不得商用。

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