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本发明属于衬底抛光技术领域，提供了一种基于PID控制气体辅助抛光系统的设计方法，包括搅拌系统、人机交互控制系统、超声振动装置、液位计监测装置系统、压力报警系统和气体加压系统，所述气体加压系统包括气源、气体流量控制装置、气体传感器以及数据采集...
该专利属于福建理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过福建理工大学授权不得商用。

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