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本技术涉及晶棒加工设备技术领域,具体为一种方便定位的晶棒车,包括托盘,托盘的底部安装有滚轮,托盘的一侧安装有起吊架,起吊架的一侧自上而下安装有若干卡箍,起吊架的顶部靠近晶棒顶端处安装有起吊块。该方便定位的晶棒车中,通过在托盘一侧安装起吊架,...该专利属于海纳半导体(山西)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海纳半导体(山西)有限公司授权不得商用。
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本技术涉及晶棒加工设备技术领域,具体为一种方便定位的晶棒车,包括托盘,托盘的底部安装有滚轮,托盘的一侧安装有起吊架,起吊架的一侧自上而下安装有若干卡箍,起吊架的顶部靠近晶棒顶端处安装有起吊块。该方便定位的晶棒车中,通过在托盘一侧安装起吊架,...