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基于PSD二维光学快速平动像移补偿方法、系统和设备，属于光学像移补偿技术领域，解决现有基于PSD的光学像移补偿系统的位置测量结果偏差较大问题，并可替代快速反射镜像移补偿方式。本发明的方法包括：半导体激光器模组发出光束，垂直照射到对应轴的PS...
该专利属于长春长光睿视光电技术有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春长光睿视光电技术有限责任公司授权不得商用。

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