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本发明涉及精密流体控制技术领域，具体涉及一种应用于复杂流体控制的组合阀，包括阀体及组合阀，阀体内具有流体通道，流体通道包括进入口及流出口；组合阀包括集成于阀体上的调压阀、比例阀及泄压阀；流体通道经由调压阀及比例阀被导通；泄压阀与流体通道之间...
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