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本发明一种三维射频微系统的柔性微流控散热装置，属于集成电路/射频微系统热设计领域。第二微流道对接于第一微流道下方，其中心设有容纳工质的空腔。第一微流道设有进液流道，第二微流道设有出液流道，均接通空腔。超声波换能器阵列安装于第二微流道下方，并...
该专利属于西安电子工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子工程研究所授权不得商用。

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