下载热封头机构、热封装置及加工系统的技术资料

文档序号:43201611

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本申请公开了一种热封头机构、热封装置及加工系统。本申请实施例的热封头机构包括:加热组件,包括开关模组和发热体,发热体通过开关模组与外部电源连接;温控组件,包括温控器和与温控器的输入端连接的第一温度传感器,第一温度传感器与发热体上的第一温度采...
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