下载长晶炉拉晶杆的技术资料

文档序号:4319031

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本发明提供一种长晶炉拉晶杆,其包含有一上圆柱筒,其周围具有三个穿设过上圆柱筒壁的定位栓;一顶端呈现球状且容设于圆柱筒内的定位杆,其球状顶端与定位栓间形成动态止抵关系;以及一设于定位杆下端用以容设晶种的下圆柱体。本发明由长晶炉拉晶杆内的定位杆...
该专利属于昆山中辰矽晶有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山中辰矽晶有限公司授权不得商用。

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