下载单光子雪崩二极管及其制作方法和光电探测器的技术资料

文档序号:43163651

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本发明公开了一种单光子雪崩二极管及其制作方法和光电探测器,通过设置隔离区将第一掺杂区、第二掺杂区、第三掺杂区和第四掺杂区均划分成电性隔离的预设等份,并设置第一掺杂区、第二掺杂区、第三掺杂区和第四掺杂区的层次结构,利用边缘击穿来提高探测效率,...
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