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本申请涉及单晶硅生产设备的技术领域,公开了一种单晶炉加料系统及加料方法，其包括料仓装置，其包括用于存储原料的仓体和送料件，所述仓体上设置有第一出料口，所述送料件能将所述原料从仓体的第一出料口送出；加料车，其包括安装台和用于驱动所述安装台滑动...
该专利属于北京北方华创真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创真空技术有限公司授权不得商用。

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