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本发明提供了一种高压力灵敏度耐高温无线无源压力传感器及其芯片。压力敏感芯片包括压电晶体基底和金属电极组成的谐振器结构。本发明优选切型上的谐振器的谐振模态为水平剪切模态(SH)而非瑞利模态，其具有足够高的机电耦合系数，且能流角为0度，归一化压...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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