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本发明涉及微波等离子化学气相沉积技术领域，且公开了微波等离子化学气相沉积设备，包括反应部件，所述反应部件的一侧安装有波导部件，所述反应部件包括反应机壳、反应腔机构和磁力旋转调控机构，所述反应机壳与波导部件为固定连接，所述反应机壳的内侧设置有...
该专利属于深圳市库比克科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市库比克科技有限公司授权不得商用。

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