下载清洁装置及清洁方法的技术资料

文档序号:43118514

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本申请涉及一种清洁装置及清洁方法,涉及清洁技术领域。清洁装置包括盖体组件和等离子组件,所述盖体组件盖设于待清洁容器的端口,并用于输送清洁气体分子;所述等离子组件包括等离子发生器和输送管,所述等离子发生器设置于所述盖体组件靠近所述待清洁容器的...
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