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本发明涉及含硅烷尾气的回收利用领域，具体涉及半导体或光伏行业含硅烷尾气的回收系统。本发明提供半导体或光伏行业含硅烷尾气的回收系统，所述回收系统包括依次设置的原料气压缩机模块、膜分离组件模块、监测模块和混合模块。本发明将针对含硅烷的尾气中的硅...
该专利属于长沙安思新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙安思新能源科技有限公司授权不得商用。

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