下载一种MEMS开关及电子设备的技术资料

文档序号:43109701

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本公开实施例提供了一种MEMS开关及电子设备,该MEMS开关包括:衬底基板;电极结构,位于衬底基板上,电极结构包括依次排列且间隔设置在衬底基板上的第一接地电极、信号传输线、第二接地电极、第一驱动电极和第三接地电极;金属梁,横跨于电极结构的上...
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