下载一种光学超表面谐振腔传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:43088610

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本发明公开一种光学超表面谐振腔传感器及其制备方法,包括进液端微流控部件、出液端微流控部件,以及嵌合在两者中的光学超表面谐振腔芯片;光学超表面谐振腔芯片自下而上依次包括下层透明衬底、下层分布式布拉格反射器、建立在下层分布式布拉格反射器上的电介...
该专利属于西湖大学所有,仅供学习研究参考,未经过西湖大学授权不得商用。

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