下载排气装置、处理容器、处理设备和排气方法的技术资料

文档序号:43085312

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本发明涉及一种排气装置(300),用于对由浸没的工件(102)捕获的气泡(332)进行排气。排气装置(300)包含流体通路(310),其被制备用于将流体导引穿过浸池;和嘴部(304),其与流体通路(310)以可流体导引的方式连接,其中嘴部(...
该专利属于杜尔系统股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过杜尔系统股份公司授权不得商用。

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