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本发明公开了一种微平版印刷投影曝光装置的投影物镜。该微平版印刷投影曝光装置（１１０）的投影物镜是为其中浸渍液（１３４）与感光层（１２６）邻接的浸渍操作而设计的。漫渍液的折射率大于在投影物镜（１２０；１２０’；１２０”）的物体侧与浸渍液相邻的...
该专利属于卡尔蔡司ＳＭＴ股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司ＳＭＴ股份公司授权不得商用。

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