下载太阳能基板的出片装置及真空镀膜生产线的技术资料

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本技术提供了一种太阳能基板的出片装置及真空镀膜生产线,其中,太阳能基板的出片装置,包括:基体,具有玻璃基片的出片腔室;基片运输装置,包括多个平行布置的辊子,多个辊子布置于出片腔室内用以运输玻璃基片;下导气装置,在上下方向上设置于出片腔室的腔...
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