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太阳能基板的出片装置及真空镀膜生产线制造方法及图纸
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文档序号:43079969
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本技术提供了一种太阳能基板的出片装置及真空镀膜生产线,其中,太阳能基板的出片装置,包括:基体,具有玻璃基片的出片腔室;基片运输装置,包括多个平行布置的辊子,多个辊子布置于出片腔室内用以运输玻璃基片;下导气装置,在上下方向上设置于出片腔室的腔...
该专利属于开封宸亚新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过开封宸亚新能源有限公司授权不得商用。
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