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本技术涉及PECVD设备领域，公开了一种适用于PECVD设备的多射频电源输入系统，其包括射频电源、多路射频电源控制器和射频电源馈入点。射频电源设置有两个及以上。多路射频电源控制器上设置有多个连接端口，连接端口分别与各个射频电源一一连接，用于...
该专利属于福建金石能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建金石能源有限公司授权不得商用。

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